氦質(zhì)譜檢漏儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
如何校準氦質(zhì)譜檢漏儀的漏率？氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部一般有標準漏孔，可以拆卸校準。如果標準漏孔不能單獨校準，可以通過氦質(zhì)譜檢漏儀進行漏率部分的校準。接下來給大家分享遇到這種情況該怎么辦？
1.環(huán)境條件校準
在校準過程中，室溫變化不超過±1℃，環(huán)境相對濕度不超過80%；不會受到氣流和強電磁場等外部干擾；環(huán)境溫度控制在23℃附近。
2.選擇標準器
標準裝置采用滲氫型標準漏孔，漏率標稱值為(10-6-10-10-10)pa.m3/s，不確定度不大于10%；精密玻璃溫度計，測量范圍(0~50)℃，不確定度U=0.04℃，k=2。
3.校準方法
(1)漏率校準。
①校準系統(tǒng)的組成由標準漏孔、截止閥和標準的氦質(zhì)譜檢漏儀組成。
②數(shù)值誤差通電并預熱。等待氦質(zhì)譜檢漏儀啟動后，利用標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行校準。一旦校準的標準漏孔連接到氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)，并運行氦質(zhì)譜檢漏儀。泄漏率指示值穩(wěn)定后，可讀出標準泄漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值，并對同一標準漏孔進行三次測量，計算氦質(zhì)譜檢漏儀示值的平均值
假如試驗結(jié)果有較大偏差，可以考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的自校功能，完成后再用標準漏孔進行試驗。
